精密仪器系源于1932年成立的清华大学工学院机械工程学系，是我国历史最悠久的工科院系之一。2012年12月，学校决定以精密仪器与机械学系的仪器科学和光学工程学科为基础，成立现在的精密仪器系。
精密仪器系现有在校博士研究生391人，硕士研究生93人；拥有2门国家级精品课程、3门北京市精品课程、6门清华大学精品课程，4门课程通过首批国家级一流本科课程认定；建有3个国家级科研平台、3个教育部重点实验室、1个北京市重点实验室、3个自主批建科研机构和3个校企联合科研机构；现有院士2人、国家级高层次人才计划入选者19人次、国家级青年人才计划入选者18人次，在职教师合计共83人；建有教育部创新团队、国防科技创新团队、重点领域创新团队各1个。
精密仪器系现有在校博士研究生391人，硕士研究生93人；拥有2门国家级精品课程、3门北京市精品课程、6门清华大学精品课程，4门课程通过首批国家级一流本科课程认定；建有3个国家级科研平台、3个教育部重点实验室、1个北京市重点实验室、3个自主批建科研机构和3个校企联合科研机构；现有院士2人、国家级高层次人才计划入选者19人次、国家级青年人才计划入选者18人次，在职教师合计共83人；建有教育部创新团队、国防科技创新团队、重点领域创新团队各1个。
